Толық аумақтық қауіпсіздік және қорғаныс, интеграцияланған демонстрациялық құрылғы, зарядтаудың әмбебаптығы

Дене өлшемдері

Біріктірілген дәлдік

Навигация әдістері

Платформалық жүктемелер

Қолданбаға кіріспе
*Automated material handling at semiconductor wire edges
*Suitable for processes with loose production cycles
*Suitable for individual material flow situations
*It is suitable for the flow of people on the ground and material handling without restrictions
*Suitable for shop floor equipment is not fixed and support layout change
*Applies to Wafer test BG WS DB WB Final TEST
*Compliance with Cleanroom ISO14644-14 、 SEMI S2 Standard and ESD standards
Зарядтау жүйесі
Single battery station
| Storage Quantity | 1/2bin+ 1 change bin |
| Clean Class | class 1K |
| бақылау жүйесі | PLC |
| Мәліметтер жүйесі | BCMS ( optional) |
| Battery replacement time | 3 минут |

Battery station
| Storage Quantity | ≥5 bins |
| Clean Class | class 1K |
| бақылау жүйесі | PLC |
| Мәліметтер жүйесі | BCMS |
| Battery replacement time | 4 минут |

Battery managment system



Қолданбаға кіріспе
*Automated material handling at semiconductor production
*It is suitable for short cycle times and multiple combined production situations
*It is suitable for point-to-point handling with large volume, heavy weight, and low docking accuracy
*Suitable for OVEN , Burn in, Rack baskets, box carrier
*Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 стандарты және ESD стандарттарына сәйкес келеді
Бағдарламалар

Wafer polishing and transport

SMT MGZ loading and unloading

OVEN loading and unloading

E-rack transshipment




Блок 4. №358 Джинху жолы, Пудун ауданы, Шанхай, Қытай